결함 리뷰
Defect review
결함 리뷰는 검사에서 찾은 좌표를 다시 관찰해 결함의 모양과 종류를 자세히 확인하는 작업이다.
설명
검사 장비가 넓게 찾은 후보 중 일부를 높은 배율이나 다른 신호로 살펴본다. 같은 점처럼 보이던 후보가 입자, 구멍, 패턴 끊김으로 나뉠 수 있다.
예시
검사 좌표와 리뷰 좌표의 기준이 다르면 다른 곳을 볼 수 있다. 고해상도 영상보다 먼저 해당 후보를 정확히 재탐색했는지 확인한다.
구분
넓게 찾는 검사와 자세히 확인하는 리뷰는 서로 보완한다.