에피택시·에피 성장
Epitaxial Growth
Epitaxy
기판의 결정 방향을 이어받아 그 위에 고품질 단결정 또는 결정성 층을 성장시키는 기술.
설명
, Si/SiGe, SiC 소자 등에서 crystal 품질과 strain 엔지니어링에 연결된다.
예시
단결정 기판 위에 같은 결정 방향의 epitaxial 실리콘 층을 성장시킨다. 관련 용어: / 실리콘
구분
에피택시는 결정 정렬을 유지하는 growth가 핵심이고 일반 비정질/다결정 과 구분된다.