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장비 통신과 데이터 의미

Equipment communication and data semantics

SECS/GEM

장비 통신은 상태·이벤트·측정값을 시스템 간에 전달하는 기능이며, 데이터 의미는 각 값이 나타내는 물리량과 조건이다.

설명

는 장비 통신 표준 계열, 은 공통 장비 동작 모델, 는 장비 데이터 수집 인터페이스 체계를 가리킨다. 연결됐다는 사실만으로 센서 단위·갱신 주기·좌표가 표준화된 것은 아니다.

SECS

SECS는 반도체 장비와 호스트 사이의 통신을 위한 SEMI 표준 계열을 가리킨다.

GEM

GEM은 호스트와 장비 사이의 이벤트·상태·명령 등 공통 동작 모델을 정의하는 장비 통신 체계다.

EDA

EDA는 이 팩에서 장비 데이터 수집을 뜻하며, 장비에서 공정·상태 데이터를 수집하기 위한 SEMI Interface A 표준 계열을 가리킨다.

Pressure라는 같은 이름도 챔버 절대압과 배출 측 압력일 수 있다. 태그 사전에는 위치·단위·센서·유효 조건을 기록한다.

통신 호환성과 분석에 필요한 의미 일치는 별도 과제다.

SECS는 반도체 장비와 호스트 사이의 통신을 위한 SEMI 표준 계열을 가리킨다.

GEM은 호스트와 장비 사이의 이벤트·상태·명령 등 공통 동작 모델을 정의하는 장비 통신 체계다.

EDA는 이 팩에서 장비 데이터 수집을 뜻하며, 장비에서 공정·상태 데이터를 수집하기 위한 SEMI Interface A 표준 계열을 가리킨다.