용어검색/반도체EDA · 장비 데이터 수집Equipment Data AcquisitionEDAInterface A팩별 설명Fab 자동화·MES L1반도체 장비 L2EDA는 이 팩에서 장비 데이터 수집을 뜻하며, 장비에서 공정·상태 데이터를 수집하기 위한 SEMI Interface A 표준 계열을 가리킨다.정의 복사관련 학습 ↓설명반도체 회로 설계 도구를 뜻하는 Electronic Design Automation과는 다른 의미다. 데이터 수집 규격과 태그의 물리적 의미·샘플링 품질을 구분한다.함께 배우는 용어실누설과 가상 누설↗실누설은 외부와 이어진 경로를 통한 가스 유입이고, 가상 누설은 내부에 갇힌 가스가 좁은 길을 통해 늦게 방출되는 현상이다.아크와 국부 전계↗아크는 국부적으로 큰 전류가 흐르는 비정상 방전으로, 입자·절연막·형상에 따른 전계 집중과 관련될 수 있다.활성화와 확산의 절충↗활성화와 확산의 절충은 전기적으로 유효한 도펀트를 늘리는 열처리가 동시에 농도 분포를 퍼뜨릴 수 있다는 관계다.이전 용어← GEM반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개