활성화와 확산의 절충
Activation–diffusion trade-off
활성화와 확산의 절충은 전기적으로 유효한 도펀트를 늘리는 열처리가 동시에 농도 분포를 퍼뜨릴 수 있다는 관계다.
설명
더 강한 열처리로 저항이 개선돼도 얕은 접합의 위치가 달라질 수 있다. 필요한 활성화와 허용 확산을 함께 맞춰야 한다.
예시
만 낮아졌다는 이유로 공정을 개선했다고 단정하지 않는다. 접합 깊이·누설·손상 회복 등 목적에 맞는 지표를 함께 본다.
구분
한 전기 지표의 개선이 구조 보존까지 보장하지 않는다.