화면을 준비하고 있습니다.

공정 레시피

Equipment Recipe

Recipe

장비가 재료를 처리할 때 따라야 할 공정 단계, 조건, 파라미터의 정의된 집합.

설명

자동화에서 공정 레시피 이름·버전·파라미터 관리가 잘못되면 misprocessing으로 이어질 수 있다.

반도체

전기전도도가 도체와 절연체의 중간 정도인 물질. 산업 문맥에서는 이런 물질로 만든 IC와 관련 기술·산업까지 넓게 가리키기도 한다.

특정 제품의 공정은 승인된 공정 레시피를 불러와 정해진 조건 순서로 실행한다. 관련 용어:

식각

포토레지스트나 하드마스크로 보호되지 않은 영역의 재료를 선택적으로 제거해 웨이퍼에 실제 3차원 패턴을 만드는 공정.

설정값·목표값

온도, 압력, 유량 같은 제어 변수를 원하는 상태로 유지하기 위해 제어기에 주는 목표값.

공정 레시피는 전체 처리 조건 묶음이고 설정값은 그 안의 특정 제어 변수 목표값일 수 있다.

전기전도도가 도체와 절연체의 중간 정도인 물질. 산업 문맥에서는 이런 물질로 만든 IC와 관련 기술·산업까지 넓게 가리키기도 한다.

포토레지스트나 하드마스크로 보호되지 않은 영역의 재료를 선택적으로 제거해 웨이퍼에 실제 3차원 패턴을 만드는 공정.

온도, 압력, 유량 같은 제어 변수를 원하는 상태로 유지하기 위해 제어기에 주는 목표값.