고장·이상 검출 및 분류
Fault Detection and Classification
FDC
장비와 공정에서 수집한 상세 데이터를 이용해 비정상 상태를 빠르게 감지하고, 이상 유형을 분류하는 공정 제어 기능.
설명
장비의 센서 기록을 활용해 결과가 나쁘기 전에 비정상 거동을 찾는다는 맥락으로 이해한다.
여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.
용어 상세 ↗예시
특정 챔버의 압력·온도 기록이 정상 이상 판단 기준 모델에서 벗어나면 FDC가 이상을 검출할 수 있다.
관련 용어: / /
공정 데이터를 시간에 따라 통계적으로 모니터링해 정상적인 변동과 이상 신호를 구분하고 공정 안정성을 관리하는 방법.
용어 상세 ↗측정 데이터와 공정 상태를 이용해 공정 조건을 자동으로 조정하는 고급 공정 제어 방식.
용어 상세 ↗평소의 정상 공정 상태나 허용된 공정 윈도우에서 벗어나 제품 위험을 만들 수 있는 비정상적인 공정 사건.
용어 상세 ↗구분
FDC는 이상 감지·분류이고 는 통계적 공정 안정성 모니터링이라는 관점에서 구분한다.
공정 데이터를 시간에 따라 통계적으로 모니터링해 정상적인 변동과 이상 신호를 구분하고 공정 안정성을 관리하는 방법.
용어 상세 ↗