설명
APC는 결과와 정보 등을 활용해 공정 변동을 줄이는 데 쓰이며, 는 대표적인 구현 방식 중 하나다.
공정 결과의 치수, 두께, 중첩 정렬 오차, 형상, 재료 특성 같은 값을 정량적으로 측정하는 활동과 기술.
용어 상세 ↗장비와 공정에서 수집한 상세 데이터를 이용해 비정상 상태를 빠르게 감지하고, 이상 유형을 분류하는 공정 제어 기능.
용어 상세 ↗한 번의 공정 실행 결과 또는 선행 데이터를 이용해 다음 공정 실행의 조건을 보정하는 반복형 APC 방식.
용어 상세 ↗예시
이전 결과를 이용해 다음 공정 실행의 레시피 조건을 자동 보정하는 는 APC의 대표적인 적용 예다.
관련 용어: Run-to-Run 제어 / /
여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.
용어 상세 ↗한 번의 공정 실행 결과 또는 선행 데이터를 이용해 다음 공정 실행의 조건을 보정하는 반복형 APC 방식.
용어 상세 ↗장비와 공정에서 수집한 상세 데이터를 이용해 비정상 상태를 빠르게 감지하고, 이상 유형을 분류하는 공정 제어 기능.
용어 상세 ↗공정 데이터를 시간에 따라 통계적으로 모니터링해 정상적인 변동과 이상 신호를 구분하고 공정 안정성을 관리하는 방법.
용어 상세 ↗구분
APC는 고급 공정 제어라는 넓은 개념이고, ··는 APC와 연계되는 구체 기능이나 방법이다.
한 번의 공정 실행 결과 또는 선행 데이터를 이용해 다음 공정 실행의 조건을 보정하는 반복형 APC 방식.
용어 상세 ↗장비와 공정에서 수집한 상세 데이터를 이용해 비정상 상태를 빠르게 감지하고, 이상 유형을 분류하는 공정 제어 기능.
용어 상세 ↗공정 데이터를 시간에 따라 통계적으로 모니터링해 정상적인 변동과 이상 신호를 구분하고 공정 안정성을 관리하는 방법.
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