FEOL
Front End of Line
전공정 소자 형성
FEOL은 에 트랜지스터 등 소자의 기본 구조를 형성하는 공정 영역이다.
설명
전류가 흐를 영역, 이웃 소자와의 분리 구조, 전류를 제어하는 게이트를 만든다. 재료의 전기적 성질과 아주 작은 구조의 형상을 함께 맞춰야 한다.
예시
절연막을 이용해 이웃 트랜지스터를 분리하는 작업은 소자 형성과 연결된다. 반면 완성된 소자를 멀리 떨어진 회로에 연결하는 다층 금속배선은 주로 에 속한다.
구분
FEOL에서는 어떤 소자가 만들어지고 전류를 어떻게 제어하는지 본다.