MOL
Middle of Line
MOL은 소자의 단자와 상부 배선 사이를 잇는 ·국부 접속 구조를 형성하는 공정 영역이다.
설명
는 소자에 닿는 전기적 접점이다. 접점이 작아지면 구멍을 정확히 열고 내부를 채우는 일뿐 아니라 경계면의 전기저항을 낮추는 일이 중요해진다.
예시
·MOL의 정확한 경계는 기술과 조직에 따라 다를 수 있다. 명칭만 외우기보다 소자 단자를 배선으로 연결하는 기능을 기준으로 이해한다.
구분
소자가 잘 동작해도 접점이 불완전하면 회로에 전류를 전달하기 어렵다.