설명
팹 자동화 질문에서 FOUP은 '를 담는 상자', 는 '그 상자를 옮기는 차량'으로 먼저 구분하면 쉽다.
여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.
용어 상세 ↗팹 천장 레일을 따라 이동하며 FOUP 같은 웨이퍼 캐리어를 장비나 자동 캐리어 저장장치 사이로 자동 운반하는 물류 장치.
용어 상세 ↗예시
한 FOUP에 여러 장의 가 들어가고 가 FOUP을 다음 공정 장비로 운반한다.
관련 용어: 천장식 자동 운반차 / / /
여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.
용어 상세 ↗팹 천장 레일을 따라 이동하며 FOUP 같은 웨이퍼 캐리어를 장비나 자동 캐리어 저장장치 사이로 자동 운반하는 물류 장치.
용어 상세 ↗FOUP 등 웨이퍼 캐리어를 팹 내부에서 자동으로 저장·이동·인계하도록 구성한 물류 시스템 전체.
용어 상세 ↗FOUP 같은 웨이퍼 캐리어를 공정/계측 장비에 올려놓고 장비와 캐리어를 인계하는 표준화된 물리적 접점.
용어 상세 ↗생산·추적·공정 관리를 위해 하나의 단위로 묶어 취급하는 웨이퍼 묶음.
용어 상세 ↗구분
FOUP은 캐리어이고 는 캐리어를 이동시키는 반송 vehicle이다.
팹 천장 레일을 따라 이동하며 FOUP 같은 웨이퍼 캐리어를 장비나 자동 캐리어 저장장치 사이로 자동 운반하는 물류 장치.
용어 상세 ↗