웨이퍼 로트
Wafer Lot
Lot
생산·추적·공정 관리를 위해 하나의 단위로 묶어 취급하는 묶음.
설명
·디스패칭·공정 이력에서 로트 단위로 장비 투입과 이동을 관리하는 표현을 자주 접한다.
예시
한 로트의 여러 웨이퍼가 같은 제품과 공정 흐름을 따라 순차적으로 장비를 통과할 수 있다. 관련 용어: 웨이퍼 / /
풉·웨이퍼 운반용 밀폐 캐리어
300 mm 웨이퍼를 오염으로부터 보호하면서 저장·운반하는 전면 개방형 캐리어. 자동물류 시스템과 장비 사이에서 웨이퍼 로트를 담는 대표 용기다.
용어 상세구분
로트는 묶음 관리 단위이고 웨이퍼는 개별 기판이다.