공정 통합
Process integration
공정 통합은 여러 단위공정의 순서·재료·형상을 조정하여 최종 소자와 배선의 요구특성을 함께 만족시키는 활동이다.
설명
박막의 두께가 규격에 맞아도 응력이나 표면 상태가 다음 노광·식각에 불리하면 전체 흐름은 실패할 수 있다. 국소 최적과 전체 최적은 다르다.
예시
증착 시간을 늘려 두께를 맞춘 가상 변경안을 검토한다면 후속 식각의 마스크 소모와 평탄화 부담도 함께 비교한다.
구분
변경안을 평가할 때 바로 다음 결과와 최종 전기적 결과를 모두 정한다.