공정 모듈
Process module
공정 모듈은 특정 구조나 기능을 완성하기 위해 묶어 관리하는 연속 공정의 단위다.
설명
게이트 모듈에는 ·절연막·금속·패터닝 등이 포함될 수 있다. 모듈 경계는 기업과 공정 흐름에 따라 달라진다.
예시
FEOL은 주로 소자 형성, MOL은 소자 접속, BEOL은 다층 배선 형성을 가리킨다. 이 구분을 모든 공장의 고정 공정표로 보지 않는다.
구분
현재 단계가 어느 모듈에 속하는지보다 무엇을 입력받아 무엇을 넘기는지가 중요하다.