공정 통합
Process integration
공정 통합은 여러 의 순서와 상호 영향을 조정해 하나의 동작 가능한 구조를 완성하는 일이다.
설명
한 단계에서 좋은 결과가 다음 단계에서도 유리하다는 보장은 없다. 예를 들어 막을 두껍게 하면 보호에는 유리하지만 이후 구멍을 더 깊게 가공해야 할 수 있다.
예시
조건을 바꿀 때 제거 속도뿐 아니라 남는 막의 두께, 표면 손상, 후속 증착의 접착 상태까지 함께 확인한다. 각 공정의 성적표를 따로 보아서는 완성 구조를 판단하기 어렵다.
구분
부분 최적보다 다음 공정으로 넘길 구조의 품질을 확인한다.