공정 레시피
Process recipe
공정 레시피는 한 작업에서 적용할 온도·압력·가스·전력·시간 등의 조건과 실행 순서를 정한 설정 묶음이다.
설명
목표가 막 두께라면 레시피는 그 두께를 만들기 위한 입력이고, 측정한 두께는 출력이다. 장비 상태와 투입 표면이 달라지면 같은 설정에서도 결과가 달라질 수 있다.
예시
가상 공정에서 처리시간이 같아도 새로 정비한 장비와 오래 가동한 장비의 막 두께가 다를 수 있다. 시간 기록이 일치한다는 이유만으로 결과를 같다고 판정하지 않는다.
구분
설정값을 지켰는지와 원하는 결과가 나왔는지는 따로 확인한다.