화면을 준비하고 있습니다.

단결정 실리콘

Single-crystal silicon

단결정 실리콘은 원자 배열의 방향이 전체적으로 연속된 하나의 결정으로 이루어진 실리콘이다.

설명

규칙적인 격자는 소자의 전기적 특성을 일정하게 만들기 위한 출발점이다. 여러 결정 알갱이가 모인 다결정 실리콘과 달리 결정립 사이의 경계가 없다.

단결정 기판 위에도 다결정막이나 비정질막을 올릴 수 있다. 기판이 단결정이라는 사실이 위에 쌓는 모든 막까지 단결정임을 뜻하지는 않는다.

기판의 결정성과 각 의 결정성을 구분한다.

박막

박막은 기판이나 기존 구조 위에 얇게 형성하여 특정 기능을 부여하는 재료층이다.

박막은 기판이나 기존 구조 위에 얇게 형성하여 특정 기능을 부여하는 재료층이다.

FEOL은 웨이퍼에 트랜지스터 등 소자의 기본 구조를 형성하는 공정 영역이다.

MOL은 소자의 단자와 상부 배선 사이를 잇는 콘택트·국부 접속 구조를 형성하는 공정 영역이다.