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린스

Rinse

팩별 설명

린스는 세정 후 남은 약액과 용해된 오염을 씻어내는 과정이다.

설명

오염을 표면에서 떼어내도 액체와 함께 충분히 배출하지 않으면 다시 남을 수 있다. 세정액의 반응과 린스의 배출은 서로 다른 역할이다.

세정 결과가 좋다가 건조 후 얼룩이 나타나면 린스와 배출 상태도 확인한다. 반응을 더 강하게 하는 조정만으로는 남은 액체의 문제를 해결하지 못할 수 있다.

오염을 분리하는 일과 밖으로 내보내는 일을 구분한다.

웨이퍼

웨이퍼는 여러 회로를 함께 가공하는 기판이다.

웨이퍼는 여러 회로를 함께 가공하는 기판이다.

FEOL은 웨이퍼에 트랜지스터 등 소자의 기본 구조를 형성하는 공정 영역이다.

MOL은 소자의 단자와 상부 배선 사이를 잇는 콘택트·국부 접속 구조를 형성하는 공정 영역이다.