열 예산
Thermal budget
열예산
열 예산은 여러 공정에서 재료와 소자가 받은 온도·시간 이력을 누적 영향의 관점에서 관리하는 개념이다.
설명
이미 만든 접합은 뒤 공정의 열에도 반응한다. 열 예산은 온도와 시간을 단순히 곱한 한 숫자가 아니라 어떤 확산·반응을 제한하려는지에 따라 평가한다.
예시
높은 온도가 필요한 작업을 열에 민감한 배선 형성 뒤에 두면 문제가 될 수 있다. 현재 공정만 아니라 앞에서 만든 구조가 견딜 수 있는지를 확인한다.
구분
한 번의 열처리 조건보다 전체 흐름의 누적 열 영향을 본다.