포지티브 레지스트
Positive-tone photoresist
포지티브 레지스트는 정해진 ·후처리· 조건에서 빛을 받은 부분이 더 잘 제거되도록 작동하는 감광 재료이다.
설명
노광부와 비노광부의 용해성 차이로 개구부를 만든다. 마스크의 밝고 어두운 부분과 남는 패턴의 관계를 이해해야 식각될 위치를 판단할 수 있다.
예시
빛을 받은 부분이 에서 제거되어 아래 막이 노출되면, 그 위치가 다음 의 대상이 될 수 있다. 한 곳에 항상 재료가 남는다고 생각하지 않는다.
구분
포지티브에서는 노광된 부분이 제거되는 방향을 기준으로 패턴을 읽는다.