스핀 코팅
Spin coating
스핀 코팅은 를 회전시켜 액상 감광 재료를 넓게 펴고 두께를 형성하는 도포 방식이다.
설명
회전 조건, 재료의 점도, 용제 증발, 초기 공급 상태가 두께에 영향을 준다. 회전속도가 빠를수록 얇아지는 경향은 있어도 모든 재료에 같은 관계가 적용되지는 않는다.
예시
중심과 가장자리의 막 두께가 달라졌다면 회전속도뿐 아니라 도포량·점도·표면 상태·배기 조건을 확인한다. 한 변수만의 문제로 단정하지 않는다.
구분
두께는 회전과 재료·표면·건조 조건의 공동 결과이다.