네거티브 레지스트
Negative-tone photoresist
네거티브 레지스트는 정해진 조건에서 빛을 받은 부분이 후 남도록 작동하는 감광 재료이다.
설명
에 의해 가교 등이 일어나 노광부가 덜 녹는 조합이 대표적이다. 실제 작동은 레지스트와 방식의 조합에 따라 정해지므로 명칭과 공정 조건을 함께 확인한다.
예시
같은 마스크를 사용해도 포지티브와 네거티브 방식에서는 남는 영역이 달라질 수 있다. 원하는 최종 개구부를 기준으로 패턴 방향을 먼저 확인한다.
구분
레지스트의 작동 방향을 모르면 같은 그림도 반대로 해석할 수 있다.