반사방지막
Anti-reflective coating
ARC
반사방지막은 아래 재료에서 되돌아오는 빛의 영향을 줄여 안의 분포를 안정시키는 층이다.
설명
빛이 아래층에서 반사되면 안의 위치별 에너지가 달라져 패턴 모양이 변할 수 있다. 막의 광학적 성질과 두께를 조건에 맞춰 설계한다.
예시
아래층 금속이나 절연막을 바꾸면 반사 조건도 달라진다. 같은 레지스트와 을 사용해도 패턴 결과를 다시 확인해야 하는 이유이다.
구분
포토 공정은 하나가 아니라 아래층까지 포함한 광학 구조를 다룬다.