노광
Exposure
노광은 에 빛을 조사해 원하는 위치에 화학적 변화를 기록하는 과정이다.
설명
마스크의 패턴을 광학계로 전달하고 의 여러 영역에 반복해 기록한다. 실제 형상은 이후 에서 나타나므로 노광 직후 외관만으로 완성 패턴을 판단할 수 없다.
예시
같은 빛을 조사해도 과 아래층 반사 조건이 다르면 결과가 달라진다. 노광은 빛·광학계·감광 재료를 함께 맞추는 작업이다.
구분
노광은 재료를 직접 깎는 일이 아니라 다음 에 사용할 정보를 기록하는 일이다.