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오버레이

Overlay

팩별 설명

오버레이는 서로 다른 패턴 층이 의도한 상대 위치에서 얼마나 어긋났는지를 나타내는 정렬 오차다.

설명

각 층의 가 정상이어도 층간 위치가 어긋나면 연결 면적이 줄거나 잘못된 곳에 닿을 수 있다.

임계치수인 CD는 회로 기능과 공정 제어에 중요한 선폭·간격·구멍 크기 등의 치수다.

비아 구멍 크기는 정상인데 아래 금속선과 어긋나면 상승이나 위험이 생긴다.

접촉저항

접촉저항은 서로 연결된 재료나 구조의 접촉부에서 전류 흐름을 방해하는 저항 성분이다.

단선

단선은 원래 이어져야 할 전기 경로가 끊어지거나 기능을 못 할 정도로 저항이 커진 상태다.

크기와 위치 정합은 별도의 품질 축이다.

임계치수인 CD는 회로 기능과 공정 제어에 중요한 선폭·간격·구멍 크기 등의 치수다.

접촉저항은 서로 연결된 재료나 구조의 접촉부에서 전류 흐름을 방해하는 저항 성분이다.

단선은 원래 이어져야 할 전기 경로가 끊어지거나 기능을 못 할 정도로 저항이 커진 상태다.