화면을 준비하고 있습니다.

패턴 브리지

Pattern bridge

패턴 브리지는 원래 분리되어야 할 패턴 사이에 불필요한 연결이 남은 상태다.

설명

레지스트 단계의 브리지가 후속 금속이나 식각 패턴으로 이어질 수 있다. 모든 브리지가 최종 전기 으로 남는지는 후속 공정에 달린다.

단락

단락은 분리되어야 할 전기 경로 사이에 의도하지 않은 낮은 저항의 연결이 생긴 상태다.

현상 뒤 브리지를 발견했다면 같은 상대 위치의 최종 연결과 시험 결과를 대조한다.

중간 패턴 결함과 최종 전기 영향의 연결을 확인한다.

단락은 분리되어야 할 전기 경로 사이에 의도하지 않은 낮은 저항의 연결이 생긴 상태다.

가중 수율은 여러 집단의 합격 수를 합하고 대상 수를 합해 계산한 전체 합격 비율이다.

단선은 원래 이어져야 할 전기 경로가 끊어지거나 기능을 못 할 정도로 저항이 커진 상태다.