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정렬 마크

Alignment mark

팩별 설명

정렬 마크는 다이와 웨이퍼의 위치 및 방향을 측정하기 위해 마련한 기준 형상이다.

설명

장비는 마크를 읽어 이동·를 보정한다. 마크가 손상되거나 보이지 않으면 실제 패드 배열과의 관계를 정확히 맞추기 어렵다.

회전 오차

회전 오차는 두 다이의 기준 방향이 서로 틀어진 상태다.

마크가 맞는다고 모든 패드가 완벽히 맞는 것은 아니다. 열팽창이나 국소 변형이 있으면 마크 사이 영역에도 오차가 생길 수 있다.

정렬 기준의 정확성과 전체 연결 영역의 일치를 함께 확인한다.

회전 오차는 두 다이의 기준 방향이 서로 틀어진 상태다.

솔더 볼은 금속 솔더를 구형으로 만들어 접합에 사용하는 외부 연결 단자다.

BGA는 패키지 바닥 면에 솔더 볼을 격자 형태로 배열한 외부 단자 구조다.