OPC
Optical Proximity Correction
광학 근접 보정
OPC는 에 원하는 형상이 나오도록 주변 패턴의 영향을 고려해 마스크 형상을 보정하는 기술이다.
설명
광학계와 공정을 거치면 설계의 직각·끝부분·좁은 간격이 그대로 재현되지 않을 수 있다. 계산 모델로 이런 변화를 예측해 원판의 모양을 조절한다.
예시
마스크 모양이 회로 설계와 약간 다르다고 모두 오류는 아니다. 목표는 원판을 설계와 똑같이 그리는 것이 아니라 결과를 목표에 맞추는 것이다.
구분
패턴 보정은 공정에서 일어날 변화를 미리 반영한 설계이다.