패터닝 사이클
Patterning cycle
패터닝 사이클은 원하는 위치와 모양을 정하고 그 모양을 실제 재료에 옮기는 일련의 과정이다.
설명
대표적으로 막 형성, 도포, ·, , 감광막 제거가 연결된다. 감광막은 빛에 반응하는 임시 재료이며, 실제 소자나 배선 재료와는 구별된다.
예시
금속 위 에 선 모양을 남긴 다음 노출된 금속을 제거하면 금속선이 남는다. 다른 방식으로는 절연막에 홈을 먼저 만들고 금속을 채울 수도 있다.
구분
패턴을 정하는 단계와 최종 재료를 가공하는 단계를 나누어 이해한다.