습식 식각
Wet etching
습식 식각은 액체 약액과 재료의 반응을 이용해 제거하는 방식이다.
설명
재료 선택성이 유리한 조합이 있으며 액체가 표면에 닿고 부산물이 빠져나가야 반응이 이어진다. 모든 습식 식각이 등방성인 것은 아니며 결정면에 따라 속도가 다른 경우도 있다.
예시
약액 이름만으로 현재 다층 구조의 호환성을 판단하지 않는다. 안전한 설비와 승인된 절차 안에서 목표층·노출층·건조까지 연결해 검증한다.
구분
습식 공정은 반응 선택성과 액체 접촉·후처리를 함께 다룬다.