플라즈마
Plasma
전자, 양이온, 라디칼 등이 존재하는 이온화된 가스 상태로, 에서 화학적 반응과 directional 이온 bombardment를 만들어내는 핵심 매개체.
설명
플라즈마는 식각뿐 아니라 , 등 다양한 공정에서 사용된다.
예시
에너지로 공정 가스를 플라즈마로 만들고 생성된 이온/라디칼이 표면과 반응한다. 관련 용어: /
구분
플라즈마는 공정에 쓰는 활성 상태의 가스이고 는 그 플라즈마를 이용한 대표 방식이다.
Plasma
전자, 양이온, 라디칼 등이 존재하는 이온화된 가스 상태로, 에서 화학적 반응과 directional 이온 bombardment를 만들어내는 핵심 매개체.
플라즈마는 식각뿐 아니라 , 등 다양한 공정에서 사용된다.
에너지로 공정 가스를 플라즈마로 만들고 생성된 이온/라디칼이 표면과 반응한다. 관련 용어: /
플라즈마는 공정에 쓰는 활성 상태의 가스이고 는 그 플라즈마를 이용한 대표 방식이다.