이온 충격
Ion bombardment
이온 충격은 가속된 이온이 표면에 부딪혀 에너지와 운동량을 전달하는 작용이다.
설명
표면 결합을 약하게 하거나 반응을 돕고 일부 재료를 물리적으로 제거할 수 있다. 에너지가 지나치면 마스크 소모나 기판 손상도 커질 수 있다.
예시
이온 작용을 강화해 바닥 제거가 좋아져도 와 전기적 손상이 나빠질 수 있다. 수직 깊이 하나만으로 조건을 평가하지 않는다.
구분
이온 에너지는 제거를 돕는 수단이면서 손상의 원인이 될 수 있다.