로딩 효과
Loading effect
로딩 효과는 반응에 노출된 재료의 면적이나 패턴 밀도에 따라 공정 결과가 달라지는 현상이다.
설명
넓은 영역에서 반응종을 많이 소비하면 국부 공급 상태가 달라질 수 있다. 같은 폭의 선이라도 주변의 빽빽함에 따라 결과가 달라지는 경우가 있다.
예시
는 주로 구조의 깊이·폭 관계, 로딩 효과는 노출 면적과 주변 패턴의 영향을 보는 관점이다. 실제로는 두 영향이 함께 나타날 수 있다.
구분
현재 구조의 치수와 주변에 얼마나 많은 구조가 있는지를 따로 기록한다.