화면을 준비하고 있습니다.

주입 에너지

Implant energy

팩별 설명

주입 에너지는 이온 하나가 가속되어 표면에 들어갈 때 가지는 운동에너지이다.

설명

같은 이온과 재료 조건에서 에너지가 높아지면 일반적으로 더 깊은 분포를 만들 수 있다. 원자 종류와 표면막도 침투에 영향을 주므로 에너지 숫자만으로 깊이를 확정하지 않는다.

원자 수를 늘리는 조정과 원자가 들어갈 깊이를 바꾸는 에너지 조정은 목적이 다르다. 둘을 같은 조절로 생각하면 접합 설계를 잘못 이해하게 된다.

주입량

주입량은 단위 면적당 주입하는 이온의 수이다.

과 에너지는 양과 깊이를 구분해 다루는 핵심 입력이다.

주입량

주입량은 단위 면적당 주입하는 이온의 수이다.

주입량은 단위 면적당 주입하는 이온의 수이다.

결정방향은 결정의 원자 배열을 기준으로 특정 면이나 축이 향하는 방향이다.

연마 웨이퍼는 절단한 기판의 표면 손상을 줄이고 평탄하고 매끄러운 면을 갖도록 가공한 웨이퍼이다.