면저항
Sheet resistance
면 저항
면저항은 얇고 균일한 도전층의 옆 방향 전류 흐름에 대한 저항 특성을 두께까지 반영해 나타낸 값이다.
설명
단위는 Ω/□를 사용하며 균일한 막에서는 을 두께로 나눈 관계로 이해할 수 있다. 도핑층에서는 유효 운반자와 이동성·깊이 분포가 측정값에 영향을 준다.
예시
균일한 막의 면저항이 20 Ω/□이고 길이가 폭의 3배이면 등을 제외한 선 저항은 약 60 Ω이다. 실제 소자에는 접점과 형상 보정이 추가될 수 있다.
구분
면저항은 원자 수의 직접 측정이 아니라 층 전체의 전기적 결과이다.