실리사이드
Silicide
실리사이드는 금속과 실리콘이 반응해 형성하는 화합물이다.
설명
소자 접점 등에서 저항을 낮추는 데 활용할 수 있다. 형성되는 상·두께·연속성은 금속 재료와 열처리 조건에 따라 달라진다.
예시
반응을 많이 진행한다고 접점이 항상 좋아지는 것은 아니다. 얕은 접합의 실리콘을 과도하게 소비하거나 불연속 구조가 되면 오히려 특성이 나빠질 수 있다.
구분
접점 저항 개선은 화합물의 형성량보다 올바른 상과 계면·연속성에 달려 있다.