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비저항

Resistivity

팩별 설명

비저항은 물질이 전류 흐름을 얼마나 방해하는지 나타내는 재료의 전기적 성질이다.

설명

실리콘에서는 도펀트의 종류와 농도, 전하 운반자의 이동성 등이 비저항에 영향을 준다. 사양의 비저항은 나중에 형성할 개별 소자의 저항과 같지 않다.

웨이퍼

웨이퍼는 여러 회로를 함께 가공하는 기판이다.

같은 재료라도 길고 가는 통로는 짧고 넓은 통로보다 저항이 커질 수 있다. 비저항은 재료 특성이고 저항은 재료와 형상을 함께 반영한다.

비저항과 실제 구조의 저항을 혼동하지 않는다.

웨이퍼는 여러 회로를 함께 가공하는 기판이다.

FEOL은 웨이퍼에 트랜지스터 등 소자의 기본 구조를 형성하는 공정 영역이다.

MOL은 소자의 단자와 상부 배선 사이를 잇는 콘택트·국부 접속 구조를 형성하는 공정 영역이다.