EOT
Equivalent Oxide Thickness
등가 산화막 두께
EOT는 절연막의 정전용량을 같은 면적의 이산화실리콘 두께로 환산한 전기적 두께이다.
설명
물리적으로 다른 두께와 재료를 비교할 때 게이트의 전기적 결합 능력을 표현한다. 여러 절연층이 겹치면 각 층의 영향이 함께 반영된다.
예시
물리 두께가 3 nm라고 EOT도 반드시 3 nm인 것은 아니다. EOT가 같아도 누설·계면 결함·신뢰성은 재료와 구조에 따라 달라질 수 있다.
구분
EOT는 전기적 비교 기준이지 실제 단면의 자로 잰 두께가 아니다.