FinFET
Fin Field-Effect Transistor
FinFET은 지느러미처럼 세운 반도체 채널의 여러 면을 게이트가 둘러싸 제어하는 트랜지스터 구조이다.
설명
평면 채널보다 게이트의 제어력을 높이는 데 활용한다. 핀의 폭·높이·측벽 상태와 그 위를 덮는 절연막·전극의 균일성이 중요해진다.
예시
평판 막 두께가 맞아도 핀 옆면에 막이 불균일하면 소자 특성이 달라질 수 있다. 미세한 평면 치수와 입체 표면 품질을 함께 다룬다.
구분
입체 채널은 전기적 제어의 이점과 여러 면을 가공하는 부담을 함께 만든다.