SOI
Silicon on Insulator
절연층 위 실리콘
SOI는 얇은 실리콘층 아래에 절연층을 두어 그 위에서 소자를 형성하도록 만든 기판 구조이다.
설명
절연층은 위쪽 실리콘을 아래 기판과 전기적으로 분리하는 데 도움을 준다. 일반적인 벌크 실리콘 기판과는 전류 경로와 열이 빠져나가는 경로가 달라진다.
예시
절연층이 있다는 이유만으로 모든 소자에 최선인 것은 아니다. 구조에 따른 전기적 이점과 자기발열·비용·제조 조건을 함께 고려해야 한다.
구분
기판 구조의 선택은 전기적 분리와 열·공정 조건을 동시에 바꾼다.