변형 실리콘
Strained silicon
스트레인 실리콘
변형 실리콘은 결정에 기계적 변형을 주어 전하 운반자의 이동 특성을 조절하는 기술 또는 재료 상태이다.
설명
주변 재료의 격자 차이나 응력을 이용해 채널 특성을 바꿀 수 있다. 효과는 변형 방향·종류·소자 구조에 따라 달라진다.
예시
응력이 있다는 사실이 항상 결함도 아니고 항상 이득도 아니다. 목표한 변형은 성능에 활용할 수 있지만 과도한 응력은 결함과 박리를 만들 수 있다.
구분
응력의 유익성과 위험은 위치·방향·목표 구조에 따라 구분한다.