다층 배선
Multilevel interconnect
다층 배선은 여러 높이에 놓인 금속선과 수직 연결부로 회로의 전기적 경로를 구성한 구조이다.
설명
서로 다른 신호를 겹치지 않게 연결하면서 면적을 효율적으로 사용할 수 있다. 각 층의 금속 사이에는 필요한 절연막이 있어야 한다.
예시
층 수가 많아지면 배선 공간은 늘지만 증착··평탄화·정렬 단계도 늘어난다. 연결 경로 확보와 공정 복잡도를 함께 고려한다.
구분
배선층은 단순 반복이 아니라 서로 연결되거나 분리될 경로의 입체 배치이다.