오버버든
Overburden
금속 과잉막
오버버든은 홈이나 구멍을 채운 뒤 표면 위에 남는 과잉 증착층이다.
설명
충전을 충분히 하기 위해 표면에도 재료가 쌓이는 경우가 많으며 이후 등으로 제거한다. 양과 균일성이 다음 평탄화의 부담에 영향을 준다.
예시
너무 적으면 충전 여유가 부족할 수 있고 너무 많으면 제거시간·소모·높이 제어 부담이 늘 수 있다. 충전과 를 따로 최적화하지 않는다.
구분
충전의 과잉막은 다음 공정이 제거할 입력 재료이다.