단차 피복성
Step coverage
단차 피복
단차 피복성은 높낮이가 있는 구조의 윗면·측벽·바닥을 막이 얼마나 잘 덮는지 나타내는 특성이다.
설명
평탄한 곳에서 두께가 균일해도 깊은 구멍의 바닥에는 막이 얇게 형성될 수 있다. 반응물의 이동 방향과 표면 반응 방식이 피복성에 영향을 준다.
예시
윗면 두께가 10 nm이고 바닥이 5 nm라면 바닥/윗면 기준 피복률은 50%이다. 측벽 기준을 쓰는 자료와는 정의가 다르므로 같은 숫자로 직접 비교하지 않는다.
구분
전체의 균일도와 한 구조 내부의 피복성은 서로 다른 지표이다.