일렉트로마이그레이션
Electromigration
EM
일렉트로마이그레이션은 전류가 흐르는 금속에서 원자 이동이 누적되어 배선 형상이 변하는 현상이다.
설명
일부에 빈 공간이 커지면 저항 상승이나 이, 다른 곳의 축적은 구조 변형을 만들 수 있다. 전류밀도와 온도는 중요한 영향 변수다.
예시
같은 전류라도 배선 단면적이 작으면 전류밀도가 커진다. 초기 저항 합격만으로 장시간 전류 스트레스의 여유를 보장하지 않는다.
구분
EM은 전류·온도·배선 구조가 함께 작용하는 누적 손상으로 이해한다.