랜덤 결함
Random defect
랜덤 은 개별 발생 위치를 일정 패턴으로 예측하기 어려운 결함을 가리킨다.
설명
우발적 입자 부착 등이 예지만 랜덤이라는 분류가 원인이 없다는 뜻은 아니다. 원천과 발생 빈도를 줄이는 공정 개선은 가능하다.
예시
여러 에 흩어진 입자가 한 챔버 사용 뒤 늘었다면 위치는 불규칙해도 공통 발생 원천은 있을 수 있다.
구분
위치의 불규칙성과 원인 추적 가능성은 별개다.
Random defect
랜덤 은 개별 발생 위치를 일정 패턴으로 예측하기 어려운 결함을 가리킨다.
우발적 입자 부착 등이 예지만 랜덤이라는 분류가 원인이 없다는 뜻은 아니다. 원천과 발생 빈도를 줄이는 공정 개선은 가능하다.
여러 에 흩어진 입자가 한 챔버 사용 뒤 늘었다면 위치는 불규칙해도 공통 발생 원천은 있을 수 있다.
위치의 불규칙성과 원인 추적 가능성은 별개다.