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OCD

Optical Critical Dimension

OCD는 패턴에서 반사·회절되는 빛을 모델과 비교해 선폭·높이·측벽 각도 등의 형상을 추정하는 광학 계측이다.

설명

여러 형상 변수가 신호에 함께 영향을 줄 수 있다. 적절한 모델과 기준 구조·보조 측정이 있어야 변수 간 혼동을 줄일 수 있다.

전자빔 영상에서 경계를 읽는 방식과 달리 광학 신호 전체를 형상 모델에 맞춘다. 두 방법의 차이는 어느 것이 항상 우월한가보다 필요한 대상과 처리량에 따라 판단한다.

OCD는 하나의 신호에서 여러 형상을 추정하므로 모델의 적합성이 중요하다.

MOSFET은 게이트 전압으로 반도체의 채널 전류를 조절하는 전계효과 트랜지스터이다.

채널은 MOSFET에서 게이트의 제어를 받아 소스와 드레인 사이의 전류가 흐르는 반도체 영역이다.

CMOS는 n형과 p형 MOSFET을 상보적으로 조합해 논리 기능 등을 구현하는 회로 기술이다.