오버레이 계측
Overlay metrology
오버레이 계측은 서로 다른 패턴층 사이의 상대 위치 차이를 측정하는 방법이다.
설명
측정용 마크나 실제 구조의 신호를 이용해 방향별 변위를 구한다. 마크가 실제 소자 구조를 얼마나 대표하는지와 앞 공정이 마크에 준 영향을 확인해야 한다.
예시
마크에서는 정렬이 좋아도 실제 작은 접점의 형상 변화 때문에 유효 겹침이 부족할 수 있다. 위치 측정과 실제 접점 결과를 연결한다.
구분
측정 마크의 결과를 기능 구조에 적용할 때 대표성을 확인한다.