반복성

Measurement Repeatability

Repeatability

팩별 설명

같은 측정대상과 같은 장비·방법·조건에서 반복 측정했을 때 결과가 얼마나 일치하는지를 나타내는 측정 정밀도 특성.

설명

장비가 동일 를 여러 번 측정해도 값이 크게 흔들리면 실제 공정 변동과 측정 잡음을 구분하기 어렵다.

계측

공정 결과의 치수, 두께, 중첩 정렬 오차, 형상, 재료 특성 같은 값을 정량적으로 측정하는 활동과 기술.

웨이퍼

여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.

같은 위치를 같은 장비에서 여러 번 측정해 결과의 scatter를 평가한다. 관련 용어: / 정밀도

웨이퍼

여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.

반도체 패턴에서 성능과 공정 허용오차에 중요해 관리되는 선폭·간격 같은 핵심 치수.

재현성

측정 장비, 작업자, lab 또는 시간 등 정의된 조건이 달라져도 측정 result가 얼마나 일치하는지를 보는 측정시스템 특성.

반복성은 동일 조건 반복이고 은 작업자/장비/lab 같은 조건이 달라졌을 때의 일치성을 더 넓게 본다.

재현성

측정 장비, 작업자, lab 또는 시간 등 정의된 조건이 달라져도 측정 result가 얼마나 일치하는지를 보는 측정시스템 특성.

공정 결과의 치수, 두께, 중첩 정렬 오차, 형상, 재료 특성 같은 값을 정량적으로 측정하는 활동과 기술.

여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.

반도체 패턴에서 성능과 공정 허용오차에 중요해 관리되는 선폭·간격 같은 핵심 치수.