재현성

Measurement Reproducibility

Reproducibility

팩별 설명

측정 장비, 작업자, lab 또는 시간 등 정의된 조건이 달라져도 측정 result가 얼마나 일치하는지를 보는 측정시스템 특성.

설명

여러 장비의 장비-장비 간 일치성을 확보하려면 재현성 관점이 중요하다.

계측

공정 결과의 치수, 두께, 중첩 정렬 오차, 형상, 재료 특성 같은 값을 정량적으로 측정하는 활동과 기술.

동일 기준 를 서로 다른 두 장비에서 측정해 평균값과 변동을 비교한다. 관련 용어: /

웨이퍼

여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.

계측

공정 결과의 치수, 두께, 중첩 정렬 오차, 형상, 재료 특성 같은 값을 정량적으로 측정하는 활동과 기술.

반복성

같은 측정대상과 같은 장비·방법·조건에서 반복 측정했을 때 결과가 얼마나 일치하는지를 나타내는 측정 정밀도 특성.

교정

측정기나 측정시스템이 나타내는 값과 알려진 기준 표준 값 사이의 관계를 정해 측정 편향과 추적성을 관리하는 활동.

재현성은 조건 간 일치성을 보고 은 같은 조건에서의 반복 정밀도를 본다.

반복성

같은 측정대상과 같은 장비·방법·조건에서 반복 측정했을 때 결과가 얼마나 일치하는지를 나타내는 측정 정밀도 특성.

공정 결과의 치수, 두께, 중첩 정렬 오차, 형상, 재료 특성 같은 값을 정량적으로 측정하는 활동과 기술.

여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.

같은 측정대상과 같은 장비·방법·조건에서 반복 측정했을 때 결과가 얼마나 일치하는지를 나타내는 측정 정밀도 특성.